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(7.15) equation of Integral 149C.2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . model gyroscope levitated a of Derivation 149C.1 filaments two between inductance Mutual 146C . . . . . . . . . . beta and _ angles of pair the via formulas developed of Presentation 145B.3 . . . . . . . . filament circular secondary the of position angular of Determination 143B.2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . functions MATLAB 143B.1 filaments two between inductance Mutual 135B notation Mathematical 133A . . . . . . . . . . . gyroscopes levitated and vibratory in noise thermal Mechanical 1317.6 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . factor Scale 1297.5 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . gyroscopes reported of resolution of Analysis 1277.4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Resolution noise. Johnson 1267.3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . noise thermal Mechanical 1247.2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . gyroscope rate two-axis levitated ideal an of Model 1237.1 micro-gyroscopes levitated in noise thermal Mechanical 1217 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . instability pull-in Dynamic 1196.3.7 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . instability pull-in Static 1176.3.6 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . motion of equation accelerometer The 1166.3.5 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . model Analytical 1146.3.4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . results experimental Preliminary 1136.3.3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . principle Operating 1126.3.2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Fabrication 1126.3.1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Micro-accelerometers 1056.3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . levitation stable of Modelling 1056.2.4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . gravity the to due motion Linear 1046.2.3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Micro-fabrication 1036.2.2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . principle Operating 1036.2.1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Micro-accelerators 976.2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . pull-in Angular 936.1.9 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . diameter 2.4mm a of disc light A 936.1.8 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . experiment with Comparison 896.1.7 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . models developed of analysis Preliminary 876.1.6 . . . . . . . . . . . . . . . . . . actuation pull-in linear static of Quasi-FEM 866.1.5 . . . . . . . . . . . . . . . actuation pull-in linear static of model Analytical 826.1.4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . simulation current Eddy 796.1.3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Results Experimental 776.1.2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . fabrication micro-machined and Design 776.1.1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Micro-actuators 776.1 micro-systems levitation Hybrid 726 . . . . . . . . . . . . . . . . . . discussion further and results Experimental 715.2.1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . consumption energy lowest with Micro-bearings 705.2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Temperature 685.1.7 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Stability Lateral 635.1.6 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . height Levitation 615.1.5 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . impedance Coil 575.1.4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Modelling 545.1.3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . stiffness of Measurement 535.1.2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . fabrication and Design 535.1.1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Micro-bearings 535.1 micro-systems levitation Inductive 475 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Formulas of Derivation 454.3.2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . method Kalantarov-Zeitlin The 444.3.1 . . . . . . . . . . . . . . filaments circular of inductance mutual the of Calculation 434.3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . IL-micro-systems of analysis the for Procedure 404.2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . modelling for problem of Statement 394.1 modelling element Quasi-finite 344 . . . . . . . . . . . . . designs symmetric on based IL-micro-systems of Modelling 313.4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . systems levitation inductive of Stability 253.3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . modelling for problem the of Statement 223.2 . . . . . . . . . . . . . . micro-electro-mechanical-systems of mechanics Analytical 213.1 modelling Analytical 193 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . technology micro-coil 3D 172.2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . technology coil Planar 172.1 techniques Micro-fabrication 142 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Trends Future 131.8 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . micro-systems levitation Hybrid 121.7 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . micro-systems levitation Inductive 121.6 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . micro-systems levitation Superconducting 101.5 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . micro-systems levitation Diamagnetic 101.4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . micro-systems levitation Magnetic 91.3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . micro-systems levitation Electric 81.2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Classification micro-systems. Levitation 71.1 micro-systems levitation to Introduction 1 Hierbei handelt es sich um ein Konto um unnötige Absprünge zu vermeiden die möglichst allumfassend sein sollen. Front End Generell geht es darum, den Bestellprozess für den Kunden so angenehm und einfach wie möglich zu gestalten

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